




光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、---等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于---设计之密闭空间。级别zui高的当属航天航空的航空仓,基本是属于1级,属于特殊领域,面积相对较小。另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间,物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。
净化工大部分普通车间是没有温湿度要求的,但如果是日化食品、器械、电子等行业建设洁净车间,其温湿度还要与生产工艺要求相适应。净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、高空气过滤器三级过滤。十万级空气净化处理,生物实验室净化工程安装,可采用亚高的效空气过滤器代高空气过滤器。净化工程送回风系统管道的密封,是为防止不洁净的空气进入风管,阻止了风管内受污染的空气渗透出去,从而可延长使用时间。
净化工程洁净室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:(1)不会因温度变化与振动而发生裂痕。(2)不易产生微尘粒子,且很难附着粒子。(3)吸湿性小。(4)为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高。进入洁净区的空气,经过初效(又称粗效)、中效、三级过滤器过滤,使空气达到所要求的洁净级别。
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