光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、---等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于---设计之密闭空间。级别zui高的当属航天航空的航空仓,基本是属于1级,属于特殊领域,面积相对较小。另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间,净化工程安装,物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。
净化工程洁净室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:(1)不会因温度变化与振动而发生裂痕。(2)不易产生微尘粒子,且很难附着粒子。(3)吸湿性小。(4)为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高。进入洁净区的空气,经过初效(又称粗效)、中效、三级过滤器过滤,使空气达到所要求的洁净级别。
乱流洁净室的主要特点是---流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的,洁净室截面比送风口截面大得多。单向流洁净室一般有两种类型,即水平流和垂直流。在水平流系统中,气流是从一面墙流向另一面墙。在垂直流系统中,气流是从吊顶流向地面。对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
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