




半导体、集成电路生产的无尘车间要求:半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础。由于---和---规模集成电路的工艺要求,为得到高纯度的硅材料,原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产品的一个---问题。集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关,而芯片的缺陷密度与空气中粒子个数有关。因此,集成电路的高速发展,不仅对空气中控制粒子的尺寸有---的要求,而且也需进一步控制粒子数;同时,对于---规模集成电路生产环境的化学污染控制也有相关的要求。
ffu的维护管理:采用ffu送风方式时,洁净车间,往往不是单台设备而是数十台、数百台ffu布置在吊顶上,因此给维护管理带来一定的难度。一般过滤器从洁净室内进行更换,而风机多数需要在龙骨架顶端(静压箱内部)维护,但如果静压箱没有足够的高度无法从内部维护风机时,那么就要考虑从净化车间内部进行维护风机的可行性了。总之,在应用ffu时要根据实际情况进行考虑,达到既保留其特点又降低成本的目的。
早期的工业洁净室。1955年至该世纪60年代早期已建造出了具有这种通风的洁净室:充分过滤了的空气经吊顶的散流器送出。20世纪50年代早期,美国北卡罗来州云丝顿-塞伦市的西电公司在生产导1弹用陀螺仪时总是出问题,其产品合格率仅为1%。后来发现,问题就出在尘埃上。于是决定建造一个“无尘”生产车间。该车间由ac公司设计并于1955年完成。
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