




净化车间ffu使用须知:如果通过增减ffu数量的方法,就可以局部调整房间的洁净度布局,用以满足工艺的改动,而且ffu自带动力、风口、灯具,从而可以节省大量的投资。这对于通常集中送风的净化系统来说几乎是不可能达到同样效果的。负压密封,ffu送风系统的静压箱为负压,因此即使风口安装存在泄漏,也是从净化车间向静压箱泄漏,不会形成对净化车间的污染。
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半导体、集成电路生产的无尘车间要求:半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础。由于---和---规模集成电路的工艺要求,为得到高纯度的硅材料,原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产品的一个---问题。集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关,而芯片的缺陷密度与空气中粒子个数有关。因此,集成电路的高速发展,不仅对空气中控制粒子的尺寸有---的要求,而且也需进一步控制粒子数;同时,对于---规模集成电路生产环境的化学污染控制也有相关的要求。
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